| 사양 \ 모델 | HVOQ-334D | HVOQ-446D | HVOQ-557D | HVOQ-669D | HVOQ-7711D | HVOQ-8812D | HVOQ-9915D |
| 효과적인 뜨거운 영역 크기 W × H × L (㎜) | 300 × 300 × 400 | 400 × 400 × 600 | 500 × 500 × 700 | 600 × 600 × 900 | × 700 × 1100 (700) | × 800 × 1200 (800) | × 900 × 1500 (900) |
| 부하 용량 (㎏) | (75) | (250) | (400) | (600) | 천 | 1200 | 1500 |
| 난방 전력 (kW) | (48) | (75) | (90) | (150) | (270) | (360) | (480) |
| Max.Temperature (° C) | 1150 | 1150 | 1150 | 1150 | 1150 | 1150 | 1150 |
| 1350 | 1350 | 1350 | 1350 | 1350 | 1350 | 1350 | |
| 온도 균일 성 (° C) | ± 5 | ± 5 | ± 5 | ± 5 | ± 5 | ± 5 | ± 5 |
| 진공 정도 (PA) | 4 × 104 × 10-1 | 4 × 104 × 10-1 | 4 × 104 × 10-1 | 4 × 104 × 10-1 | 4 × 104 × 10-1 | 4 × 104 × 10-1 | 4 × 104 × 10-1 |
| 4 × 104 × 10-3/ 6 × 10-4 | 4 × 104 × 10-3/ 6 × 10-4 | 4 × 104 × 10-3/ 6 × 10-4 | 4 × 104 × 10-3/ 6 × 10-4 | 4 × 104 × 10-3/ 6 × 10-4 | 4 × 104 × 10-3/ 6 × 10-4 | 4 × 104 × 10-3/ 6 × 10-4 | |
| 압력 증가 속도 (PA / H) | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 |
| ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | |
| 운송 시간 (S) | ≤12 | ≤15 | ≤20 | ≤25 | ≤35 | ≤35 | ≤40 |
| 오일 탱크 부피 (L) | (800) | 2000 | 3500 | 5500 | 9500 | 11000 | 14000 |
| 냉각 가스 (99.995 %) | 엔 엔(2) | 엔 엔(2) | 엔 엔(2) | 엔 엔(2) | 엔 엔(2) | 엔 엔(2) | 엔 엔(2) |
| 가스 냉각 압력 (Bar) | (2) | (2) | (2) | (2) | (2) | (2) | (2) |

꼬리표: 수직 탄화 튜브 전기로 | 수직 탄화 전기로 | 수직 진공 탄화 오븐 | 수직 탄화 튜브 용광로

꼬리표: 단일 챔버 소둔로를 진공 청소기 | 수평 단일 챔버 진공 소둔로 | 수평 진공 어닐링 용광로 | 진공 어닐링 용광로