| スペック\モデル | HVA-334S | HVA-446S | HVA-557S | HVA-669S | HVA-7711S | HVA-8812S | HVA-9915S |
| 効果的なホットゾーンサイズW×H×L(mm)の | 300×300×400 | 400×400×600 | 500×500×700 | 600×600×900 | 700×700×1100 | 800×800×1200 | 900×900×1500 |
| 耐荷重(kg)を | 75 | 250 | 400 | 600 | 1000年 | 1200 | 1500 |
| 加熱電力(キロワット) | 48 | 75 | 90 | 150 | 270 | 360 | 480 |
| Max.Temperature(°C) | 1350 | 1350 | 1350 | 1350 | 1350 | 1350 | 1350 |
| 温度均一性(°C) | ±5 | ±5 | ±5 | ±5 | ±5 | ±5 | ±5 |
| 真空シングルチャンバ焼鈍炉の真空度(PA) | 4×104×10-1 | 4×104×10-1 | 4×104×10-1 | 4×104×10-1 | 4×104×10-1 | 4×104×10-1 | 4×104×10-1 |
| 4×104×10-3/ 6×10-4 | 4×104×10-3/ 6×10-4 | 4×104×10-3/ 6×10-4 | 4×104×10-3/ 6×10-4 | 4×104×10-3/ 6×10-4 | 4×104×10-3/ 6×10-4 | 4×104×10-3/ 6×10-4 | |
| 圧力上昇率(PA / H) | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 | ≤0.26 |
| ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | ≤0.65 | |
| ガス冷却圧力(バー) | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 |

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