| スペック\モデル | HVC-060609-C | HVC-080812-C | HVC-101015- C | HVC-131320-C | HVC-151530-C | HVC-202040-C | HVC-252550-C |
| ワーキングゾーンサイズ(W×H×L)(mm)の | 600×600×900 | 800×800×1200 | ×1000×1000 1500 | 1300×1300×2000 | 1500×1500×3000 | 2000×2000×4000 | 2500 2500×5000 |
| 真空炭化チューブ炉の負荷容量(キロ) | 300 | 800 | 1500 | 3000 | 5000 | 10000 | 20000 |
| Max.Temperature(°C) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| 温度均一性(°C) | 7.5± | 7.5± | 7.5± | 7.5± | ±10 | ±15 | ±15 |
| 加熱電力(キロワット) | 210 | 360 | 480 | 660 | 900 | 1200 | 1800 |
| 到達真空度(PA) | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 |
| 圧力上昇率(PA / H) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| 上記のパラメータは、プロセス要件、それらが合格基準としてではなく、詳細な仕様に調整することができます。技術提案や合意に明記されます。 | |||||||


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