| スペック\モデル | VVC-0508 | VVC-1015 | VVC-1520 |
| ワーキングゾーンサイズ(D×H)(ミリメートル) | 800×Φ500 | 1500×Φ1000 | 2000×Φ1500 |
| 負荷容量(キログラム) | 150 | 1000年 | 3000 |
| Max.Temperature(°C) | 1000年 | 1000年 | 1000年 |
| 温度均一性(°C) | 7.5± | 7.5± | ±10 |
| 加熱電力(キロワット) | 75 | 180 | 300 |
| 到達真空度(Pa)で | 30 | 30 | 30 |
| 圧力上昇率(PA / H) | 0.67 | 0.67 | 0.67 |