| スペック\モデル | VD-020203 | VD-030306 | VD-040408 | VD-050513 |
| ワーキングゾーンサイズ(W×H×L)(mm)の | 200×200×300 | 300×300×600 | 400×400×800 | 500×500×1300 |
| マックス。質量(kg)(実負荷重量を意味するものではありませ) | 30 | 150 | 250 | 500 |
| Max.temperature(°C) | 950 | 950 | 950 | 950 |
| 温度均一性(°C) | ±3 | ±3 | ±3 | ±5 |
| 加熱電力(キロワット) | 30 | 60 | 75 | 125 |
| 到達真空度(PA) | 1 | 1 | 1 | 1 |
| 圧力上昇率(PA / H) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| プロセスガス | Ar / NAr / N2/ H2 | Ar / NAr / N2/ H2 | Ar / NAr / N2/ H2 | Ar / NAr / N2/ H2 |
| 上記のパラメータは、プロセス要件、それらが合格基準としてではなく、詳細な仕様に調整することができます。技術提案や合意に明記されます。 | ||||

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