| スペック\モデル | APG-200 | APG-250 | APG-300 |
| ワーキングゾーンサイズ(W×H×L)(mm)の | 200×150×350 | 250×200×350 | 300×250×350 |
| マックス。長さ(mm) | 3000 | 3000 | 3000 |
| マックス。温度(°C) | 2600 | 2600 | 2600 |
| 負荷容量(キロ) | 1000年 | 1500 | 2000 |
| 加熱電力(キロワット) | 270 | 450 | 600 |
| 処理雰囲気 | CLCL2 | CLCL2 | CLCL2 |
| 上記のパラメータは、プロセス要件、それらが合格基準としてではなく、詳細な仕様に調整することができます。技術提案や合意に明記されます。 | |||

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