| スペック\モデル | VVC-0508 | VVC-0812 | VVC-1015 | |
| H×ワーキングゾーンサイズD(mm)の | 800×Φ500 | 1200×Φ800 | 1500×Φ1000 | |
| Max.Temperature(°C) | 400 | 400 | 400 | |
| 真空含浸炉の加熱電力(キロワット) | 45 | 90 | 150 | |
| 到達真空度(PA) | 9.8 | 9.8 | 9.8 | |
| 圧力上昇率(PA / H) | 30 | 30 | 30 |
| スペック\モデル | VVC-0304 | VVC-0508 | VVC-0610 |
| H×ワーキングゾーンサイズD(mm)の | 400×Φ300 | 800×Φ500 | ×1000Φ600 |
| 真空圧力含浸炉のMax.temperature(℃) | 1250 | 1250 | 1250 |
| 加熱電力(キロワット) | 45 | 90 | 135 |
| 到達真空度(PA) | 9.8 | 9.8 | 9.8 |
| 圧力上昇率(PA / H) | 1 | 1 | 1 |
タグ: 垂直真空カーボンチューブ炉 | 垂直管炉CVD | カーボン用の縦型CVD炉 | 垂直化学蒸着炉

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