| スペック\モデル | VVC-0508 | VVC-1015 | VVC-1520 |
| ワーキングゾーンサイズ(W×H×L)(mm)の | 800×Φ500 | 1500×Φ1000 | 2000×Φ1500 |
| 負荷容量(キロ) | 150 | 1000年 | 3000 |
| Max.Temperature(°C) | 2600 | 2600 | 2600 |
| 温度均一性(°C) | ±5 | 7.5± | ±10 |
| 加熱電力(キロワット) | 120 | 450 | 900 |
| 到達真空度(PA) | 30 | 30 | 30 |
| 圧力上昇率(PA / H) | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| 上記のパラメータは、プロセス要件、それらが合格基準としてではなく、詳細な仕様に調整することができます。技術提案や合意に明記されます。 | |||

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